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解密压阻式压力传感器


键词: piezoresistive, pressure sensors, micromachine pressure sensors, pressure control systems, monocrystalline, silicon transducer, temperature, pizoresistive 


摘要：在最近几年已广泛使用的单晶硅压力传感器。尽管半导体技术制造的，他们也对电阻的原则运作。在单晶硅半导体（压电效应）的电阻变化是大大高于标准应变计，其电阻变化与几何结构的变化。在掺杂半导体的导电性变化（晶体网格压缩或拉伸），可以由一个非常小的机械变形产生影响。使用温度补偿和放大信号信号调理集成电路，分立电路，提供优越的性能。


 AN871.pdf