ACS集成测试系统是一种可灵活配置、基于仪表的系统，用于器件、晶圆或晶圆盒（cassette）的半导体特性分析；其强大而灵活的自动化软件系统实现了独特的测量功能。吉时利久经考验的仪器和测量技术构成了该系统的核心-由ACS软件控制。ACS系统填补了交互式实验室研究设备与高成本和高产能的生产测试设备之间的空白。
应用指南：自动特征分析套件（ACS）测试系统.pdf
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