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吉时利已增强了其ACS系统的功能，并将其应用于晶圆级可靠性（WLR）测试，构建了ACS-WLR集成测试系统。因此，用户进行寿命预测的速度比使用传统WLR测试方案的速度提高了2到5倍，从而加快了用户技术开发、工艺集成和工艺监测的过程，实现了更快的上市时间。

ACS-WLR系统具有全面的单器件和并行器件WLR测试功能。它们配置了我们的创新产品2600A系列数字源表，通过每管脚SMU架构为系统提供了无可比拟的测试速度和精度。一个2600A双通道源测量单元（SMU）非常适合于单器件可靠性测试。最小配置只需要一个2600A双通道SMU；但是，大多数系统配置都支持在一个机架内配置8到40个SMU，满足真正并行WLR特征分析应用的需求。2600A SMU允许ACS-WLR架构为每个测试结构PAD提供高压（200V）和高电流（1.5A）信号源与测量功能。这为用户提供了最大的测试灵活性，用户不必使用一种方案进行栅氧完整性分析，同时使用另一套系统进行金属互连可靠性测试。无论是测试厚栅氧，还是测试先进的栅叠层，用户只需简单的操作即可完成寿命加速特征分析。每个2600A SMU都可以单独编程，因此可以对单个结构进行分离。

应用指南：ACS晶圆级可靠性（WLR）测试系统.pdf