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恒压法测量高电阻，需要使用一台能够测量弱电流的仪器和一台直流恒压源。有些静电计和皮安计具有内置的电压源，能够自动地计算出未知电阻。

使用静电计和皮安计的恒压法的基本电路配置如图2-30a所示。而图2-30b则示出了使用SMU，采用恒压法进行高电阻测量的情况。

在此方法中，恒压源（V）与未知电阻（R）和安培计（IM）相串联。由于安培计上的电压降可以忽略，所以所有的测试电压都出现在电阻R上。由安培计测量产生的电流，再使用欧姆定律计算出电阻（R = V/I）。

高电阻通常是所加电压的函数，所以恒压法比恒流法要优越。在选定的电压下进行测量，就可以得到电阻与电压的曲线，并可以决定 “电阻的电压系数”。

采用这种方法的应用工作包括测试两端高阻器件、测量绝缘电阻、确定绝缘材料的体电阻率和表面电阻率等。

恒压法需要测量弱电流，所以 第2.3节（弱电流测量）介绍的各种技术和误差来源都适用于这种方法。测量高电阻时两个最常见的误差来源是静电干扰和泄漏电流。如第2.6.2节所介绍，将高阻抗电路屏蔽可以尽量降低静电干扰的影响。采用第2.3.1节介绍的保护技术可以控制泄漏电流的影响。