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氢敏薄膜(1)氢气传感器(1) 摘要:氢气作为一种重要的化工原料和清洁能源，已被广泛应用。氢气具有易燃易爆的特点，使得发展快速、灵敏、准确的低浓度氢气的检测方法具有重要的实际意义。本文论述了一种基于钯膜的消逝场型单模光纤氢气传感器，通过化学腐蚀光纤和磁控镀钯膜研制了光纤氢气传感器的传感头，设计了一套传感器的测试装置。理论分析得出了光纤最佳腐蚀深度和钯膜的最佳厚度。经过模拟真实环境下对传感器进行气体浓度测试表明，该传感器对0~4%范围的氢气浓度变化起显著的响应，响应时间短，响应的重复性较好。 关键字:光纤氢气传感器；消逝场；钯膜；腐蚀；镀膜

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