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气体传感器(9) 摘　要:研究并设计了一种用于油库安全监测的气体传感器。传感器中气体敏感元件是利用直流磁控溅射法制备的Al掺杂ZnO薄膜。此薄膜对汽油等有机蒸汽有较高的敏感性和较短的响应(恢复)时间.当油气浓度较大时(大于1%),输出信号的变化仍较大.本传感器采用MAX197芯片,可以同时采集多个气敏元件的模拟信号并进行12位高精度A/D转换,利用无线收发模块F05C、J04E进行数据的无线传输.传感器拥有ACM12864液晶显示模块,方便数据显示. 关键词:ZnO薄膜;高精度A/D转换;无线数据收发;液晶显示

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用于油库安全监测的气体传感器研究与设计_1357701654734.pdf