变极距型电容传感器
图中极板1固定不动,极板2为可动电极(动片),当动片随被测量变化而移动时,使两极板间距变化,从而使电容量产生变化 ,其电容变化量ΔC为
C0—极距为时的初始电容量。
该类型电容式传感器存在着原理非线性,所以实际应用中,为了改善非线性、提高灵敏度和减小外界因素(如电源电压、环境温度)的影响,常常作成差动式结构或采用适当的测量电路来改善其非线性。
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