EEPW论坛

关于压力敏感元件、压力传感器、压力敏感电阻

目前，中国天地卫星股份有限公司引进英国Senstronics公司研制生产的溅射薄膜压
力传感器，为压力传感器领域增加新亮点。
英国Senstronics公司近年来推出的溅射薄膜压力敏感元件及其压力传感器，在国际上是领
先的，具有前沿性技术水准。它延用了测量压力的金属弹型膜片原理，再注入新的离子束溅
射等先进工艺手段和微机械加工方法，制成敏感压力的桥路电阻，使它具有如下特点：
1、不锈钢类型的弹性膜片材料（17-4PH）耐腐蚀；无隔离膜片，不用灌油充液，体积小，
质量轻；
2、没有PN结带来的高、低温误差大和工作温区小的问题；
3、不受原始贴片方法带来的蠕变、老化缺陷的影响，测量压力稳定性好。
归纳起来，这种溅射薄膜压力敏感元件及其压力传感器的优点为宽的工作温度范围（敏感元
件为-40~+200#61616;C，整机为-40~+150#61616;C），温度漂移小0.001%#61616;C；测量压力范围宽
（0.7MPa~220MPa）；体积小（敏感膜片直径仅为Φ7mm），金属一体化结构，结实可靠；测
量精度可达0.05%（包括非线性、迟滞和重复性）；在-40~+150#61616;C工作条件下精度为±
0.25%；高稳定性，（1000万次压力循环，其漂移量 0.1%）；过裁压力为1.4~2.2倍。
利用这种压力敏感元件可制成适用工业各领域使用的压力传感器。特别是它的高可靠性，高
稳定性，宽温度范围和小体积轻质量的特点，更适用于航天、航空、坦克、兵器、舰船等军
事部门，它的批量生产能力，亦适用于大量使用的汽车工业。它的耐腐蚀性能力，可为石
油、化工行业测量压力服务。