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 当状态寄存器的CPUOff和SCG0,1被置位时，MCU进入LPM3模式，CPU、MCLK、SMCLK操作立即停止，内部已激活的BUS也停止一直保持到有中断请求的到来或复位的产生。在这种模式中，以MCLK、SMCLK信号为时钟的外围模块均停止工作，而以ACLK为时钟信号的外围模块是否激活依赖于SFRs的相关配置位的状态。另外该模式下，所有的A/D输入口以及RAM、寄存器的内容均不改变。
其唤醒方式为：通过外围模块或RST/NMI脚来的中断来唤醒。