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许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V/I)计算其电阻。由于高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流也使得进行准确测量较为困难，吉时利 6517B 型静电计/高阻表旨在解决这些问题，并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量。

静电计用于精准测量高范围电阻

静电计是一种高度精密的直流多用测量仪表，不仅可以完成一般直流数字多用表的测量功能，凭借特殊的输入特性和高灵敏度，静电计也可胜任常规多用表力所不能及的电压，电流，电阻和电荷测量。它可以同时测量非常微弱的电流和高阻抗电压。使用静电计还可以进行电容漏电流测量和绝缘电阻测量。静电计具备 10fc 的电荷测量分辨率，100aA 的电流分辨率，以及高达 200TΩ 的阻抗测量能力，超越了标准的数字万用表。也可用于需要极端灵敏度或者需要多种类型的灵敏电子线路测量的场合。

其应用场景多为：表征高兆欧级电阻、确定绝缘体的电阻率和测量印刷电路板的绝缘电阻。

Keithley 6500 系列静电计

吉时利 5 位半 6517B 静电计/高阻表提供的精度和灵敏度指标高于其他同类型仪表。它还具有完备的功能，使测量高阻和绝缘材料电阻率变得简单。6517B 具有425 读数/秒的测试速率，比同类型的静电计快很多，可以提供快速、简易的弱电流测量能力测量弱电流。

半机架型 6517B 静电计/高阻表具有特殊的低电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入阻抗是 200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。

吉时利静电计/高阻表6517B产品图

电阻测量可达 10E16Ω

电流测量范围 1fA - 20mA

最小电流量程输入端压降<20µV

200TΩ 输入阻抗

<3fA 偏置电流

测试速率高达 425 rdgs/s

噪声0.75fA p-p

内置±1kV电压源

独特的高电阻测量电压反接方法

可选的插件式扫描卡

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