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摘要
 与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 
 设计任务

 仅位相透射设计（IFTA）

 仅位相透射设计（IFTA）

 超表面晶胞分析

  构建超光栅 

 初始超表面设计的评估

  参数优化

 优化超光栅设计的评估

  走进VirtualLab

 VirtualLab Fusion的工作流程 分析超表面晶胞- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 构造超光栅 分析光栅衍射效率- 光栅级次分析 [用例]  光栅结构参数优化

 VirtualLab Fusion技术    文件信息