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摘要 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。

 建模任务 光栅特性与参数的严格分析 不同光栅周期下的衍射效率

 关于光栅周期选择的考虑

 偏振相关的衍射特性




  通过参数优化进行光栅设计 固定周期的2D参数优化
2D参数优化–设计1

 2D参数优化–设计2

 制造公差分析–设计2

 变化光栅周期的3D参数优化

 制造公差分析

 走进VirtualLab Fusion

 VirtualLab Fusion中的工作流程 

 •构造光栅结构
−通过使用界面来配置光栅结构
 [用例]
•分析光栅衍射效率
−光栅级次分析器[用例]
•使用参数运行搜索初始解决方案
−参数运行文档的使用[用例]
•通过参数优化找到最终设计 VirtualLab Fusion技术
   文件信息 

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