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检查微型晶片的光学系统
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1438303
检查微型晶片的光学系统
cherryj
工程师
2023-02-24 17:45:33
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1楼
成像系统>包括光栅 任务/系统说明
亮点
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
严格分析光栅衍射效率
考虑入射光的方向分布 说明:光源
说明:光束分束器
说明:检测透镜系统
说明:微型晶片
说明:检测物镜
说明:探测器
结果:3D光线追迹(只有0级)
结果:3D光线追迹(所有级)
结果:光线追迹
结果:场追迹
结果:线性偏振光的场追迹
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Hope2022
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2023-02-24 22:08:54
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tanfpga
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