在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 严格分析光栅衍射效率 考虑入射光的方向分布 说明:光源 说明:光束分束器 说明:检测透镜系统 说明:微型晶片 说明:检测物镜 说明:探测器 结果:3D光线追迹(只有0级) 结果:3D光线追迹(所有级) 结果:光线追迹
结果:场追迹
结果:线性偏振光的场追迹
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