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检查微型晶片的光学系统

工程师
2023-02-24 17:45:33     打赏
成像系统>包括光栅 任务/系统说明  亮点

  在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 严格分析光栅衍射效率 考虑入射光的方向分布 说明:光源  说明:光束分束器  说明:检测透镜系统  说明:微型晶片  说明:检测物镜  说明:探测器  结果:3D光线追迹(只有0级)  结果:3D光线追迹(所有级)  结果:光线追迹
 结果:场追迹
 结果:线性偏振光的场追迹 
 文档和技术信息




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2023-02-24 22:08:54     打赏
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