光整形>衍射光学 任务说明
灵活地导出制造数据:- 平滑的界面- 量化界面- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 亮点 导出各种表面形状的制造数据 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面
一般界面的制造数据
支持文件格式:- 纯文本- ASCII码- 点云- CAD格式(例如,STL,IGES) STL导出平滑界面(例如Asphere) 采样高度剖面的STL导出
量化界面的GDSII导出 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 文档和技术信息 PC用于模拟的规格