1. 描述■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
2. 系统




6. 其他系统参数■ 系统由单色平面波照明■ 照明波长266.08nm■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。— 一个虚拟屏位于焦平面— 光束尺寸探测器置于焦平面■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7. 光线追迹系统分析器的结果





■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm■ 此外,背景颜色也可以预先设置。■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 10. 总结■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。