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本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生

关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图

所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。

相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2

建模任务

照射光束强度               衍射扩散器                                              产生的光图样强度

建模任务

²       扩散器参数：

—相位层：4

—像素尺寸：

830*830nm

—口径：1*1mm

—周期：664,83*664,83um

²       结构数据输出为二进制格式

²       需要的高度分布计算

²       蚀刻掩模分解

²       蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件

打开光学扩散器系统

光学扩散器系统

模拟结果

²       扩散器系统产生的光图样强度分布

传输器提取