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电磁场与独立的接触孔的相互作用
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在布局中文件layout.jcm中定义的几何设置,给定的平行四边形定义了掩模上边长为280nm的孔洞大小。由于这种模式建模时定义为孤立的,它在横向上被吸收掩模材料包围。在JCMsuite中,通过定义一个围绕几何单元的ConvexHull,可以方便地建立这个结构。这将自动建立一个ConvexHull与封闭模式的最小距离偏移。对于ConvexHull其域名、优先级和边界条件可以像往常一样定义。由于掩模模式是孤立的,因此任意数量的相同频率、不同入射方向的入射平面波都可以定义为光源。


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