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示例.0082(1.0) 关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
 1. 描述■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
 2. 系统

■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。■ 包括序列光学表面和光学介质。  

■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。■ 可以选择选取光线的方法：— 在x-y-网格— 六边形— 自由选取■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 5. 系统的3维视图

6. 其他系统参数■ 系统由单色平面波照明■ 照明波长266.08nm■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。— 一个虚拟屏位于焦平面— 光束尺寸探测器置于焦平面■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 10. 总结■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。