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半导体工艺设备、技术和服务供应商FSI国际有限公司最近表示，该公司的表面处理技术平台正在亚洲得到更广泛的采用，在2004财政年度前9个月的所有定单中，亚洲客户已超过40%，比2003财政年度同期上升了11%。 据介绍，在2004财政年度中，亚洲地区的定货包括两套MAGELLAN浸泡式系统、以及销售给5家亚洲背景新客户的ANTARES CryoKinetic超凝态过冷动力学清洗系统等。此外，6家亚洲集成电路制造商现在也采用FSI的最新一代喷雾清洗技术―ZETA喷雾清洗系统。 FSI公司解释说，定单的显著增长是该公司的“直接主动进入(Go Direct Initiative)”策略的成果，FSI国际2003年3月启动了这项旨向亚太地区客户提供直接销售、服务和应用支持的策略。 “我们清晰地看到了我们‘直接主动进入’投资策略的成果，通过在亚洲提供一整套的直接支持服务，我们正在建立更牢固的客户关系”，FSI的总裁及首席执行官Don Mitchell说。“其成效是，我们的客户现在除了使用FSI传统的喷雾清洗技术外，还对采用我们全新的后段工艺与晶园凸点应用喷雾清洁技术、及先进的浸泡式和CryoKinetic超凝态过冷动力学技术表现出极大的兴趣”。 FSI表示，“直接主动进入”的策略加上公司在日本的合资企业m？FSI，已经使FSI能够在亚洲为客户提供更多的综合性支持。此外，通过提升对本地客户的响应能力，带来了FSI与日本、韩国及台湾的集成电路制造商在90纳米产品和65纳米的开发项目中的更多高产出、高协同性合作和联合开发项目。 通过这些协作项目，FSI已经为纳米级的表面处理开发了一整套BKM (Best Known Methods, 最佳熟知方法)方案，这套方案将在SEMICON台湾展览上发布。这些验证过的方案将应对各种与扩散前清洗相关的挑战、前段制造光刻胶剥离和去胶灰化后清洗、后段制造去胶灰化后清洗和尘埃去除。FSI希望这些BKM方案能够让客户用更快、更方便和更经济的方法来实施90纳米及以下的工艺。