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【选型指南】ACS晶圆级可靠性(WLR)测试系统

高工
2012-05-12 11:22:58    评分

吉时利已增强了其ACS系统的功能,并将其应用于晶圆级可靠性(WLR)测试,构建了ACS-WLR集成测试系统。因此,用户进行寿命预测的速度比使用传统WLR测试方案的速度提高了2到5倍,从而加快了用户技术开发、工艺集成和工艺监测的过程,实现了更快的上市时间。

ACS-WLR系统具有全面的单器件和并行器件WLR测试功能。它们配置了我们的创新产品2600A系列数字源表,通过每管脚SMU架构为系统提供了无可比拟的测试速度和精度。一个2600A双通道源测量单元(SMU)非常适合于单器件可靠性测试。最小配置只需要一个2600A双通道SMU;但是,大多数系统配置都支持在一个机架内配置8到40个SMU,满足真正并行WLR特征分析应用的需求。2600A SMU允许ACS-WLR架构为每个测试结构PAD提供高压(200V)和高电流(1.5A)信号源与测量功能。这为用户提供了最大的测试灵活性,用户不必使用一种方案进行栅氧完整性分析,同时使用另一套系统进行金属互连可靠性测试。无论是测试厚栅氧,还是测试先进的栅叠层,用户只需简单的操作即可完成寿命加速特征分析。每个2600A SMU都可以单独编程,因此可以对单个结构进行分离。

功能特性:

  • * 基于WLR系统的源测量单元(SMU)
  • * 可配置2~44条源-测量通道
  • * 兼容所有常用的晶圆探针台
  • * 支持串行测试和并行测试
  • * 适用于新兴和已成熟的技术
  • * 集成多个硅单元并行测试的功能
  • * 兼容JEDEC的全面测试套件
  • * 实时绘图和绘制晶圆图
  • * 灵活的构架能满足您不断变化的测试需求
  • * 完全自动化的单点和多点测试能力



  • 关键词: 选型     指南     晶圆级     可靠性     测试系统     测试    

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