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MEMS( 微机电系统 )是一种基于CMOS工艺的集成技术。它将传感器/微处理器/信号处理与控制集于一体，有效缩小了系统的体积，是一种先进的加工技术。

MEMS测试难点

1.电容是MEMS的必测项。电容式微传感器是MEMS系统中常用的传感器，它负责接收外界的信号并转换为电学信号。这个电容值很小，一般为pF量级。测试设备所能施加的交流频率和电容测量的精度是需要考虑的因素。

2.电阻是MEMS的必测项。电阻式传感器在MEMS系统中非常常见其阻值的变化可以表征外界信号的变化。MEMS系统中的电阻范围较大，因此测试设备的电压电流动态范围也必须足够大。

测试方案：

测试设备：TH2851阻抗分析仪+探针台

TH2851系列阻抗分析仪是同惠电子采用当前国际先进的自动平衡电桥原理研制成功的新一代阻抗测试仪器，为国产阻抗测试仪器的最新高度。其彻底颠覆了传统国产仪器复杂繁琐的操作界面，基于Windows10操作系统，实现了全电脑化操作界面，让测试更智能、更简便。

TH2851系列阻抗分析仪也彻底超越了国外同类仪器120MHz的频率瓶颈；解决了国外同类仪器只能分析、无法单独测试的缺陷；中英文操作界面也解决了国外仪器仅有英文界面的尴尬；采用单测和分析两种界面，让测试更简单。快达2.5ms的测试速度、及高达40MΩ的阻抗测试范围可以满足元件与材料的测量要求，特别有利于低损耗(D)电容器和高品质因数(Q)电感器的测量。四端对的端口配置方式可有效消除测试线电磁耦合的影响，将低阻抗测试能力的下限比常规五端配置的仪器向下扩展了十倍。

测试参数：

MEMS输出电容C；

MEMS输出电阻R；

MEMS泄漏电流I;