TRCX：掺杂过程分析-电子产品世界论坛

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TRCX：掺杂过程分析

助工

2024-05-17 09:37:43 打赏

在 LTPS 制造过程中，使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时，应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容，并分析有源层离子注入前后的电位分布，如下图所示。

5.17-1.png

(a)FIB

5.17-1.1.png (b) 掺杂前后对比

关键词：掺杂过程分析

专家

2024-05-17 10:27:04 打赏

2楼

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