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漏流是施加电压时通过(泄露)电阻的误差电流。当DUT的阻抗与测试电路中绝缘体的阻抗相当时，该误差电流就会成为问题。为减小漏流，在测试电流中采用高质量的绝缘体、降低测试实验室的湿度，并采用保护。

保护是由一个低阻源驱动的导体，其输出为或接近高阻端子的电势。保护端子用于保护测试夹具和电缆绝缘电阻和电容。保护是三轴连接器/电缆的芯屏蔽，如图10所示。

图10. 4200三轴连接器/电缆的导体

请勿混淆保护和屏蔽。屏蔽通常意味着采用金属护栏防止静电干扰影响高阻电路。保护则意味着使用增加的低阻导体，将其维持在于高阻电路相同的电势，它将拦截任何干扰电压或电流。保护不一定提供屏蔽。下图

为保护的两个例子：1)利用保护降低测试夹具导致的漏流，而2)则利用保护降低由于电缆连接产生的漏流。

图11所示为保护消除可能会通过测试夹具内隔离绝缘体的原理。在图11a中，漏流(I_L)通过隔离绝缘体(R_L)。该漏流增加至来自于DUT (I_DUT)，然后被SMU安培计测得(I_M)，对小电流测量的准确度造成不利影响。

图11. 利用保护减小测试夹具中的漏流

在图11b中，金属安装板被连接至SMU的保护端子。隔离绝缘体顶部和底部的电压接近相同电势(0V压降)，所以在隔离绝缘体中就不会有漏流影响测量准确度。由于金属安装板将处于保护电势，所以为安全起见，金属屏蔽必须连接至地。