MEMS传感器即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。而MEMS加速度计便是其中一种。
目前利用3轴MEMS加速度计开发出的新型应用有: 带有运动检测和状态感知的手机以监视手机所在位置和被使用状况。这种传感器能够提供很多功能,例如更直观的用户界面和延长电池寿命的智能电源管理。 带有硬盘保护系统的笔记本计算机和媒体播放器。随着对便携式设备存储能力要求的增加,测量冲击和跌落事件有助于提高产品的鲁棒性。
可移动游戏机,通过改善当前游戏的界面和开发新的基于运动的游戏而提供更多的互动、直观和趣味的游戏体验。数码相机,通过检测位置、运动和振动而自动地帮助用户更好地拍照。 由于这些新型功能可以使产品更具特色,因而3轴MEMS加速度计也得到便携设备厂商的认同。在价格降低到可以接受的水平后,3轴MEMS加速度计将广泛应用于手机、媒体播放器、视频游戏机、照相机和计算机等产品上,有着巨大的市场潜力