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锥形相位掩模的Talbot图像

Rosaaa
助工
2024-07-18 09:41:42     打赏
摘要
 在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。

11.jpg

建模任务

22.png

structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 系统建模块

33.png特定位置的Talbot图案

44.png特定位置的Talbot图案

55.png不同位置的Talbot图案

66.png不同位置的Talbot图案

77.png沿 Z 轴的强度

88.pngVirtualLab Fusion技术

99.png

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关键词： 锥形     相位     掩模     Talbot     图像    

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