掠入射反射光学元件在X射线光路中广泛使用，特别是Kirkpatrick-Baez（KB）椭圆反射镜系统。（A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319）聚焦是通过使用两个物理分离的椭圆反射镜聚焦二维光束来实现的。进入系统的X射线可以通过系统聚焦到纳米尺度大小的光斑。该系统在VirtualLab Fusion中进行了建模和仿真，并计算了焦点位置的电场。
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X射线掠入射聚焦反射镜
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