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白光迈克尔逊干涉仪

助工
2024-10-29 09:24:51     打赏

1. 摘要

白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。

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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程

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关键词: 白光     迈克尔     干涉仪    

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