1. 摘要
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
输入场设置
基本光源模型[视频教程]
定义元件的位置和方向
光路图II：位置和方向[视频教程]
正确设置非序列追迹通道
非序列追迹的通道设置[使用案例]
使用“参数运行”检查影响/变化
“参数运行文件”的使用[使用案例]
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