衍射扩散器反射镜相位级次:2直径:5.75×5mm 使用IFTA优化二元扩散器透过率函数。 IFTA优化文档可以通过图样生成扩散器会话编辑器生成。 期望光图样可以由jpg文件导入。 由于一个二元透过率函数总是会生成一个孪生像,因此必须对二元透过率进行优化,即在y方向上进行离轴,以使孪生像分开。 请参考Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_02.seditor。 IFTA优化文档Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_03.dp 像素大小:830nm×800nm 单周期像素数:2271×2355 周期:1.9mm×1.9mm 光学系统:Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_04.lpd 4.设计步骤2-反射镜反射函数 衍射扩散器反射镜的反射函数可以由扩散器透过率函数计算得到。 反射函数与透射函数一样,但为了得到类似的衍射角必须在旋转方向上拉伸:→像素大小的变化: 反射函数像素大小 透射函数像素大小5.设计步骤3-反射镜高度轮廓 这个案例演示了如何设计一个微结构反射镜的光学函数。 加工微结构反射镜需要的是其表面高度轮廓,而不是一个光学函数。下面将解释如何计算一个给定的光学函数的微结构反射镜的表面高度轮廓。 VirtualLab基于薄元近似结构设计来计算的表面轮廓。 计算反射镜的表面轮廓 • 使用光学函数或加载文件Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_05以激活“Design”工具• 开始VirtualLab结构设计(Design→Structure Design)
• 将计算光学函数每个采样点的表面高度轮廓。
• 应该选择最近邻插值来允许VirtualLab重建包含矩形像素的表面轮廓。
• 必须使用实施量化(Enforce Quantization)的选项来指定高度量级。