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F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析

助工
2024-11-13 10:37:14     打赏

激光扫描系统(LSC.0002 v1.0)

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应用案例概述 系统细节  光源 绿光二极管 元件 双轴振镜扫描仪– F-Theta物镜 探测器 场曲和畸变探测器– 光束强度剖面探测器– 焦点区域探测器– 光束参数探测器 模拟/设计 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 

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其他的VirtualLab特征
 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: 各种探测器- 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置- 测量探测器平面上的光束位置- 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场 参数耦合- 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位 参数运行- 估计扫描场尺寸- 生成场曲和畸变图 总结
 VirtualLab可以 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统 分析目标平面上的光束偏转- 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变- 通过几何场追迹来计算光束剖面- 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点

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关键词: F-Theta     物镜     激光     扫描     系统     性能     分析    

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