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1. 系统说明 光源— 氙气灯(部分相干白光) 组件— 分束器和合束器，消色差准直透镜系统，平面反射镜，待测样品 探测器— 强度分布表现出不同的干涉效应 建模/设计— 光线追迹：初始系统概览— 几何场追迹Plus(GFT+)： 部分相干白光会减少干涉条纹的对比度 扫描样品的高度轮廓时光强会发生变化

4. 总结迈克尔逊干涉仪装置白光干涉图案的研究以及作为高度扫描装置的应用1. 仿真以光线追迹对干涉仪仿真。2. 计算采用几何场追迹Plus引擎以计算干涉图样。3. 研究测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量 利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。