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受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析

Rosaaa
助工
2024-11-28 09:15:15     打赏

该案例介绍了一个正弦光栅的仿真，该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外，分析了对衍射级次的影响，特别是衍射效率。

1. 建模任务

image.png

2. 建模任务：正弦光栅

x-z方向(截面视图)

image.png

光栅参数： 周期：0.908um 高度：1.15um(这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次，详见案例341)

image.png

7. 总结 VirtualLab的光栅工具箱可对任意形状光栅结构进行严格分析(如包含一个附加粗糙面的正弦光栅)。 对于这种类型的分析，VirtualLab中采用全矢量傅里叶模态法。 光栅级次分析器能够计算全部或特定衍射级次的衍射效率。 利用VirtualLab光栅工具箱，光栅表面的粗糙度可被加以考虑。因此，由于加工引起的结构差异产生的影响可被估算。


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关键词： 粗糙     光栅     面影     响的     分析     效率    

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