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摘要
 光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。

光栅#1——结果

这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。

光栅#2——参数

假设光栅为矩形。忽略了衬底中的欠刻蚀部分。矩形光栅足以表示这种光栅结构。

光栅周期：250 nm光栅高度：490 nm填充因子：0.5n_1：1.46n_2：2.08 

光栅#2——结果

这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。